5.Fertigung

Fertigung von magnetoelektrischen Sensoren

Reinraum der Uni Kiel (J. Haaks, CAU)

Die Fertigung der Sensoren ähnelt der Herstellung von Mikrochips, allerdings werden bei diesen Sensoren auch mechanische Bauteile gleich mit produziert. Hochreine Ausgangsmaterialien sorgen dafür, dass die winzigen Sensoren später optimal funktionieren. Durch diese Art der Fertigung können kleine Sensoren gebaut werden, die sich leichter in verschiedene Messsysteme integrieren lassen.

Um die hohe Fertigungsqualität der Sensoren sicherzustellen, werden sie in einem Reinraum hergestellt. Im Reinraum der Uni Kiel dürfen sich in einem Liter Luft maximal 4 Partikel mit einer Größe über 0,5 µm befinden. Die Luft wird daher ständig durch aufwändige Filteranlagen gereinigt. Spezielle Schutzkleidung sorgt dafür, dass Personen möglichst wenige Partikel von draußen hineintragen.

Die Produktion der Sensoren im SFB 1261 findet in zwei Reinräumen statt: Der Reinraum der Technischen Fakultät ist entwicklungsorientiert und erlaubt vielfältige Veränderungen der Produktionsprozesse und -parameter. Der Reinraum des Partners Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (ISIT) in Itzehoe ist deutlich größer und auf die Produktion in größeren Chargen ausgelegt mit dem Ziel, die Serienfertigung vorzubereiten.