Unterschiedliche Sensortypen
Biegebalken-Sensoren bestehen aus einem dünnen Silizium-Streifen, auf dem im einfachsten Falle zwei Schichten aufgebracht sind: Die erste ist magnetisch aktiv, die zweite gibt bei Formänderung eine Spannung ab. Bringt man den Sensor nun in ein Magnetfeld, verformt sich die Magnetschicht und verbiegt damit den Silizium-Streifen. Damit verformt sich auch die zweite Schicht, die dann ein messbares Spannungssignal abgibt.
Beim Oberflächenwellen-Sensor (SAW) wird die oberste Schicht eines Kristalls so in Schwingung versetzt, dass eine Welle an der Oberfläche entsteht. Auf die Oberfläche des Kristalls ist eine magnetische Schicht aufgebracht, die ihre Steifigkeit in einem Magnetfeld ändert. Wenn der Sensor nun in ein Magnetfeld gebracht wird, beeinflusst die magnetische Schicht die Ausbreitung der Welle, was man wiederum messen kann.